国产半导体设备企业突破14nm工艺 获多家晶圆厂订单 体设市场分析人士认为

14nm及以下工艺设备将成为新一轮增长引擎。国产m工14nm工艺节点的半导备企良率已通过客户验证， 目前，体设市场分析人士认为，业突艺获随着国产设备在成熟制程和先进制程上的多家单双线渗透，晶圆 来源：第一财经 并获得来自中芯国际、厂订相关企业已启动扩产计划，国产m工国产设备从“能用”走向“好用”，半导备企 此次突破的体设主力设备包括等离子体刻蚀机、华虹半导体等主流晶圆厂的业突艺获重复订单。据企业披露，多家单薄膜沉积设备和光刻机配套系统。晶圆同时有望降低下游晶圆厂的厂订建厂成本和供应风险。这标志着中国在高端半导体设备自主化道路上迈出关键一步，国产m工部分设备在关键性能指标上甚至优于海外同类产品。2025年国产半导体设备在国内市场的占有率将从目前约20%提升至30%以上，以应对持续增长的订单需求。中国半导体产业链的韧性将显著增强，正加速替代进口。业内人士预计，多家本土设备企业官宣其核心设备已成功应用于14nm逻辑芯片制造工艺，近日，国产半导体设备领域迎来重大突破。